ESC DC Power即ESC直流電源,是一種專用于靜電卡盤(ESC)的直流高壓靜電電源,本產品為單極輸出電源,可同時提供正和負直流電壓,通過專用電纜和濾波電路,連接到靜電卡盤直流電極上,為靜電卡盤提供產生吸力的直流高壓。
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創新點
具備極性反轉、放電功能
具備監測功能
具備輸出保護機制
應用領域
半導體-集成電路
半導體-封裝
半導體顯示
半導體照明
技術指標
型號
BE0400
電源輸入
24VDC,1A;
輸出電壓
單極 4000Vdc
輸出電流
0~10:0~2mA max
輸出電壓線性誤差
30Vdc~+4000Vdc,1%以內-30Vdc~-4000Vdc,1%以內
通訊方式
手動、25pin I/O,RS232
CT(Center-Tap)
無
HV
對地隔離
>10M
輸入輸出隔離
>500M
極性反轉
支持
放電功能
放電時,HV+或HV-端對地電阻為200kΩ±5%
保護機制
過電壓保護可設置電流限制值