ESC DC Power即ESC直流電源，是一種專用于靜電卡盤（ESC）的直流高壓靜電電源，本產(chǎn)品為雙極輸出電源，可同時(shí)提供正和負(fù)直流電壓，通過(guò)專用電纜和濾波電路，連接到靜電卡盤直流電極上，為靜電卡盤提供產(chǎn)生吸力的直流高壓。
創(chuàng)新點(diǎn)
具備極性反轉(zhuǎn)、放電功能
具備監(jiān)測(cè)功能
具備輸出保護(hù)機(jī)制
應(yīng)用領(lǐng)域
半導(dǎo)體-集成電路
半導(dǎo)體-封裝
半導(dǎo)體顯示
半導(dǎo)體照明
技術(shù)指標(biāo)
| 型號(hào) | BEC0402 | BEC0301 | BE1200/BEC1200 |
| 電源輸入 | 24VDC，1A | 24VDC，2A | |
| 輸出電壓 | 0~±2000Vdc（ 4000Vdc） | 0~±1500Vdc（ 3000Vdc） | 0~±6000Vdc（ 12000Vdc） |
| 輸出電壓精度 | 設(shè)置值 1000Vdc-4000Vdc 范圍內(nèi)，誤差 1%以內(nèi)（of set point） 設(shè)置值<1000Vdc，誤差實(shí)際值=設(shè)定值±10Vdc | 設(shè)置值 1000Vdc-3000Vdc 范圍內(nèi)，誤差 1%以內(nèi)（of set point）； 設(shè)置值<1000Vdc，誤差實(shí)際值=設(shè)定值±10Vdc; | 設(shè)置值 1000Vdc~12000Vdc 范圍內(nèi)，誤差 1%以內(nèi)（ of setpoit） |
| 輸出電流 | 0~10V：0~2mA max |
| 0~10V : 0~1mA max |
| 輸出電壓線性誤差 | 30Vdc-4000Vdc， 1%以內(nèi) | 30Vdc-3000Vdc， 1%以內(nèi) | 1000Vdc-12000Vdc， 1%以內(nèi) |
| 通訊方式 | 手動(dòng)、 25pin I/O， RS232 | ||
| CT(Center-Tap) | 可檢測(cè)/可設(shè)置，0-10V:0Vdc~-2000Vdc | 可檢測(cè)/可設(shè)置， 5-10V: -1000Vdc~+1000Vdc | 無(wú) |
| 其他說(shuō)明 | 升級(jí)雙極串口設(shè)置CT功能 | 升級(jí)功能 （1）新增VR+/VR-指令:允許/禁用極性反轉(zhuǎn)模式 （2）新增SCT指令:設(shè)置CT值（3）新增限流保壓功能 | BEC1200支持雙正雙負(fù)功能 |
| HV對(duì)地隔離 | ＞10M | ||
| 輸入輸出隔離 | ＞500M | ||
| 極性反轉(zhuǎn) | 支持 | ||
| 放電功能 | 支持 | ||
| 保護(hù)機(jī)制 | 過(guò)電壓保護(hù)、過(guò)電流保護(hù) | ||
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