VG200 電容薄膜真空規具有測量精度高、重復性好等優點。被廣泛應用在半導體、光伏、真空、航空航天等裝備制造領域，本產品以超薄膜片為感壓元件，可精確測量工藝腔室或其它真空環境下的氣體壓力。
創新點
高溫設計
定制化解決方案
快響應
應用領域
半導體-集成電路
清潔能源-光伏
特種工業-真空鍍膜
生命科學-分析儀器
科學研究-實驗器材
技術指標
| 型號 | VG200 |
| 工作環境溫度范圍 | 15℃~50℃ |
| 存儲環境溫度范圍 | -20℃~80℃ |
| 存儲環境濕度 | ≤95% |
性能參數
精度 | VG202（不加熱） | 0.15% of reading |
| VG204（45℃） | ≥1Torr 0.15% of reading | |
| VG210（100℃） | ≥1Torr 0.15% of reading | |
| VG215（150℃） | 0.5% of reading | |
| VG216（160℃） | 0.5% of reading | |
| VG220（200℃） | 0.5% of reading | |
| 量程 | 0.1 Torr ~1000 Torr | |
| 分辨率 | 0.001%（1X10-5）of FS | |
| 溫度漂移系數（Zero） | ≥1Torr 0.002% FS/℃ | |
| 溫度漂移系數（Span） | 0.02% Reading/℃ | |
| 響應時間 | ＞1Torr 20msec | |
| 加熱溫度 | 不加熱、45℃、100℃、150℃、160℃、200℃ | |
| 預熱時間 | 4小時 | |
| 耐壓極限 | ＞1Torr 45psia（310kpa） | |
電氣參數
供電電壓 | ±15V±10% VDC 或者 |
| 輸出信號 | 0-10V 或者 |
| 電氣接口 | DB15 male、DeviceNet、Ethercat |
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