簡要描述：

PS100 電容薄膜真空規(guī)具有測量精度高、重復(fù)性好等優(yōu)點(diǎn)，被廣泛應(yīng)用在半導(dǎo)體、光伏、真空、航空航天等裝備制造領(lǐng)域，本產(chǎn)品以超薄膜片為感壓元件，可精確測量工藝腔室或其它真空環(huán)境下的氣體壓力。