PT100 壓力變送器利用壓阻式壓力傳感器，來檢測介質(zhì)的壓力變化，并將壓力轉(zhuǎn)換為電信號(hào)輸出；可測量氣路盤、工藝腔和傳輸腔等位置的壓力變化；廣泛應(yīng)用于集成電路、封裝、半導(dǎo)體照明、功率半導(dǎo)體、化合物半導(dǎo)體等領(lǐng)域。
創(chuàng)新點(diǎn)
采用32位MCU進(jìn)行設(shè)計(jì)
數(shù)字電路控制
兩路壓力報(bào)警信號(hào)輸出
應(yīng)用領(lǐng)域
半導(dǎo)體-集成電路
半導(dǎo)體-封裝
半導(dǎo)體照明
功率半導(dǎo)體
化合物半導(dǎo)體
技術(shù)指標(biāo)
| 型號(hào) | PT100 |
| 量程 | -14.7～15psi/-14.7～100psi/0～17.5psi和-0.1～1MPa |
| 精度 | ±0.5% F.S. |
| 漏率 | <1x10-9atm.cc/sec He |
| 溫漂系數(shù) | 0.1 %F.S./℃ |
| 運(yùn)行溫度范圍 | 0 ～ 80℃ |
| 耐壓極限 | 額定壓力的2倍 |
| 爆破壓力 | 額定壓力的5倍 |
| 工藝側(cè)材料 | 316L SEMI F20/鎳基合金 |
| 供電電壓 | 24V±10%VDC |
| 輸出 | 0~10V/4-20mA |
| 濕節(jié)點(diǎn)輸出規(guī)格 | 2路PNP或NPN(24V/高阻) |
| 電氣接口 | Molex1625-6P1/散線 |
| 機(jī)械接口 | 1.125“C-seal/1.125“W-seal/4VCR/KF16 |
| 使用壽命 | >1×106 cycles |
| C E 認(rèn) 證 | 設(shè)計(jì)滿足EN61326-1 |
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