RPS電源是一款小型射頻電源,專用于半導體領域,在氧化物、氮化物清洗工藝中有著廣泛的應用。RPS電源為模擬系統控制,可通過自調頻系統進行功率輸出調節,輸出功率以電流反饋的形式進行采集。電源自帶功率輸出對插接口,可穩定輸出48KHz-92KHz的高壓正弦波,并維持等離子體的穩定性。
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創新點
具備電流控制功能
具備輸出電流監控功能
具備互鎖功能
應用領域
半導體-集成電路
半導體-封裝
半導體顯示
半導體照明
半導體-微機電系統
功率半導體
化合物半導體
技術指標
型號
BRT0150L
BRT0150LC
電源輸入
220V±10%,50/60Hz
輸出類型
正弦波
輸出頻率
48KHz-92KHz
輸入輸出隔離
>500M
輸出功率精度
2W或2%
輸出電流
300mA max
互鎖調節
不可調
可調