射頻匹配器是一種用于使負載阻抗與射頻電源的阻抗匹配，減少反射功率，使傳輸功率達到的設(shè)備。不同的匹配器，被設(shè)計成適用于單個頻率或多個頻率段，以滿足不同的應(yīng)用場景。
創(chuàng)新點
全域高速匹配算法
高速自適應(yīng)電機驅(qū)動系統(tǒng)
智能信號采樣和控制系統(tǒng)
應(yīng)用領(lǐng)域
半導(dǎo)體-集成電路
半導(dǎo)體-封裝
半導(dǎo)體顯示
半導(dǎo)體照明
半導(dǎo)體-微機電系統(tǒng)
功率半導(dǎo)體
功率半導(dǎo)體
技術(shù)指標(biāo)
| 功率范圍 | 5W-10kW |
| 頻率范圍 | 400kHz±10% |
| 匹配速度 | ≤1s(合適預(yù)設(shè)) or 3s |
| 匹配精度 | ≤1%*前向功率 or 5W |
| 信號類型 | 連續(xù)波，脈沖波（SLP/DLP/MLP） |
| 通訊接口 | RS232/EtherCAT |
| 供電電壓 | 24V DC |
| 冷卻類型 | 強制風(fēng)冷 |
| 阻抗范圍 | 根據(jù)客戶需求定制 |
| 機械尺寸 | 根據(jù)客戶需求定制 |
| 接口形式 | 根據(jù)客戶需求定制 |
| 應(yīng)用產(chǎn)品 | Etch, PVD,PECVD, MCVD, HDPCVD, PEALD |
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