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氣路系統 氣路盤是流量計開發的氣路輸送系統的解決方案，該產品通過對氣路原理圖的設計，加工和測試，以隔膜閥，調壓閥，壓力傳感器，過濾器，MFC等零部件實現對多種工藝氣體的壓力調節，純度過濾，流量控制等功能，目前市場上常用的為傳統VCR型氣路盤和氣體輸送集成控制系統（Integrated Gas System），即IGS氣路盤，這兩種氣路盤業務流量計都有能力承接。