氣路系統

       氣路盤是流量計開發的氣路輸送系統的解決方案，該產品通過對氣路原理圖的設計，加工和測試，以隔膜閥，調壓閥，壓力傳感器，過濾器，MFC等零部件實現對多種工藝氣體的壓力調節，純度過濾，流量控制等功能，目前市場上常用的為傳統VCR型氣路盤和氣體輸送集成控制系統(Integrated Gas System)，即IGS氣路盤，這兩種氣路盤業務流量計都有能力承接。

　　隨著半導體領域的發展，對零部件小型化的提出了更高的要求，傳統的VCR氣路盤難以滿足要求，IGS型氣路盤應運而生，它具有氣體直方向運輸，體積小，便于安裝維護等特點，是未來氣路輸送系統發展的方向;經過MFC多年研發經驗的沉積，流量計的IGS氣路盤具有高密封性，高精度，集成度高等優點，并可以依托流量計建立的特氣實驗室對特殊氣體進行研究測量，保證IGS氣路盤的特殊氣體控制的高準確性。

氣路系統優勢：

• 提供定制化服務。

流量計具有IC級復雜氣路盤的設計能力，可以按照客戶的需求進行氣路盤的設計更改和定制化服務。

• 多年的MFC生產經驗，保證氣路盤的品質。

具有多年研發和生產MFC的經驗，可嫁接到氣路盤的設計和生產中，對氣路盤的裝配和測試工藝不斷優化，保證氣路盤的品質。

• 良好的性價比。

同等難度的氣路盤，流量計的*同類競品。