2MHz BG系列射頻電源，為連續(xù)波射頻電源，工作頻率范圍在1.765 MHz～2.165 MHz 具備選頻功能，50Ω負(fù)載下，滿足輸出1250W、1500W、3000W額定功率，功率精度≤±1%，由供電部分、射頻部分和控制部分組成，散熱方式為水冷和風(fēng)冷。
創(chuàng)新點
豐富靈活的波形控制功能
AFT、DFT掃頻技術(shù)
脈沖掃頻技術(shù)
應(yīng)用領(lǐng)域
半導(dǎo)體-集成電路
半導(dǎo)體-封裝
半導(dǎo)體顯示
半導(dǎo)體照明
半導(dǎo)體-微機電系統(tǒng)
功率半導(dǎo)體
化合物半導(dǎo)體
技術(shù)指標(biāo)
| 產(chǎn)品型號 | BG1202 | BG1502 | BG3002 |
| 工作頻率 | (1.765-2.165MHz)± 0.005% | ||
| 頻率模式 | 固定頻率、選頻 | ||
| 脈沖模式 | 無 | ||
| 調(diào)節(jié)模式 | FWD | ||
| 輸出功率 | 1250W | 1500W | 3000W |
| 輸出功率精度 | ≤±1%或1.5W | ≤±1%或3W | |
| 輸出阻抗 | 50Ω | ||
| 供電電壓 | 3相208V±10% 50/60Hz | 3相480V±10% 50/60Hz | |
| 輸出接口 | N Female | HN Female | HN Female |
| 響應(yīng)時間 | 射頻響應(yīng)時間≤100ms | 射頻響應(yīng)時間≤ 100 ms | |
| 工作模式 | CW | ||
| 脈沖同步 | 無 | ||
| 通信接口 | Analog port、RS232/485 | Analog port、RS232/485、DeviceNet | |
| 諧波抑制 | ≤－45dBc | ≤－45dBc | ≤－45dBc |
| 冷卻方式 | 水冷+風(fēng)冷 | 水冷+風(fēng)冷 | 水冷+風(fēng)冷 |
| RAMP功能 | 無 | ||
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