簡要描述：

300mm (氮氣) 晶圓盒傳送存儲系統主要由晶圓盒FOUP載入系統LoadPort、晶圓盒FOUP緩存架Shelf、機械手Robot、全密封式FIMS、氮氣吹掃系統N2 Purge、氣動系統以及電控系統等部分組成。實現晶圓盒FOUP的載入載出、暫存、氮氣吹掃和晶圓盒FOUP開關盒等功能。該產品中晶圓盒FOUP載入系統分為A/B兩個工位，用于實現晶圓盒FOUP的載入載出，晶圓盒FOUP緩存架共有18個工位，可以實現多個晶圓盒FOUP的存儲，在存儲過程中氮氣吹掃系統N2 Purge功能開啟，可以有效降低晶圓盒FOUP內的含氧量及濕度。機械手Robot用于在各工位之間的取放和搬運。全密封FIMS可以實現晶圓盒FOUP開關盒功能并保證Stocker與工藝設備之間的密封要求。