CS100質量流量控制器是基于流量計CS系列產品技術平臺開發，在擁有恒功率傳感器技術，數字傳感器平衡技術，VCP線控制技術的基礎上，采用客戶定制化設計，客戶可根據需要選用符合自身需求的產品，同時其*創的客戶零點補唯功能（CGC），能夠解決由于客戶地線連接導致的MFC精度不準問題，使產品更好的適應客戶環境。
CS100質量流量控制器是基于流量計CS系列產品技術平臺開發，在擁有恒功率傳感器技術，數字傳感器平衡技術，VCP線控制技術的基礎上，采用客戶定制化設計，客戶可根據需要選用符合自身需求的產品，同時其*創的客戶零點補唯功能(CGC)，能夠解決由于客戶地線連接導致的MFC精度不準問題，使產品更好的適應客戶環境。
優勢
• CS100產品采用客戶定制化設計，
• 客戶可根據需要選用±15V雙電源或+24單電源供電;
• 金屬密封或橡膠密封;
• 產品尺寸可選用符合通用的SEMI標準的產品，也可選用緊縮型產品。
CS100質量流量控制器技術參數：
CS100 | ||||||||||||||
型號 | CS100A | CS100D | ||||||||||||
閥類型 | 常閉 | 無 | 常閉 | 無 | ||||||||||
流量規格(N2) | (0～10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM | (0～10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM | ||||||||||||
準確度 | ±1.0% S.P. (≥35% F.S.)； ±0.35% F.S.(＜35% F.S.) | |||||||||||||
線性 | ±0.5% F.S. | |||||||||||||
重復精度 | ±0.2% F.S. | |||||||||||||
響應時間 | ≤ 1sec | |||||||||||||
工作壓差范圍 | 0.05～0.35MPa； 流量規格≤10SLM | ＜0.02 MPa |
0.05～0.35MPa； 流量規格≤10SLM | ＜0.02 MPa | ||||||||||
溫度系數 | 零點: ≤±0.05% F.S/℃； 調節時: ≤±0.1% F.S/℃ | |||||||||||||
耐壓 | 3MPa | 10MPa | 3MPa | 10MPa | ||||||||||
漏率 | 1×10-9 Pa·m3 / sec He（1×10-8 atm·cc / sec He） | |||||||||||||
密封材料 | 氟橡膠 | 金屬密封 | ||||||||||||
大工作壓力 | 0.45MPa | |||||||||||||
工作環境溫度 | （5～45）℃ | |||||||||||||
輸入信號 | 模擬: | 數字: RS485 | 無 | 無 | 模擬: | 數字: RS485 | 無 | 無 | ||||||
輸出信號 | 模擬: | 數字: RS485 | 模擬: (0～5)VDC | 數字: RS485 | 模擬: | 數字: RS485 | 模擬: | 數字: RS485 | ||||||
電源接頭形式 | D型9針 D型15針 | D型9針 O型3針 | D型15針 | D型9針 D型15針 | D型9針陽接頭； O型3針陽接頭 | D型15針陽接頭 | D型9針 D型15針 | D型9針 O型3針 | D型15針 | D型9針 D型15針 | D型9針陽接頭； O型3針陽接頭 | D型15針陽接頭 | ||
供電電源 | ±15V | ±15V | +24V | ±15V | ±15V | +24V | ±15V | ±15V | +24V | ±15V | ±15V | +24V | ||
自動清零 | 支持 | |||||||||||||
表面粗糙度 | 25μinch Ra | |||||||||||||
標準接頭形式 | 雙卡套 φ6； 雙卡套φ3；雙卡套1/4´´；雙卡套1/8´´； VCR1/4´´陽接頭； φ6(內)x1軟管接頭;φ5(內)x1.5軟管接頭;φ4(內)x1軟管接頭 | VCR1/4″陽接頭 | ||||||||||||
重量 | 1.2Kg | 1Kg | 1.2Kg | 1Kg | ||||||||||
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