D07-11C氣體質(zhì)量流量控制器是熱式質(zhì)量流量計(jì)，質(zhì)量流量控制器可以應(yīng)用到對各種氣體進(jìn)行測量和控制，除測量外還可以精密控制氣體的質(zhì)量流量，質(zhì)量流量計(jì)（MFM）可以精密測量氣體的質(zhì)量流量。D07-11產(chǎn)品是流量計(jì)研發(fā)的高壓產(chǎn)品，*高耐壓10MPa。
D07-11C氣體質(zhì)量流量控制器是熱式質(zhì)量流量計(jì)，質(zhì)量流量控制器可以應(yīng)用到對各種氣體進(jìn)行測量和控制，除測量外還可以精密控制氣體的質(zhì)量流量，質(zhì)量流量計(jì)（MFM）可以精密測量氣體的質(zhì)量流量。D07-11產(chǎn)品是流量計(jì)研發(fā)的高壓產(chǎn)品，*高耐壓10MPa。
特點(diǎn)
• 高耐壓性
• 橡膠密封、模擬電路的MFC
• 采用DB15型電插頭，標(biāo)準(zhǔn)機(jī)械接頭
• CE認(rèn)證，兼容
D07-11C氣體質(zhì)量流量控制器技術(shù)參數(shù)
項(xiàng)目 | D07-11C | D07-11CM | D07-11E |
流量規(guī)格 | ( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM | ( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM | ( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM |
準(zhǔn)確度 | ±1 % F.S (20,30SLM: ±2 % F.S) | ±1 % F.S (20,30SLM: ±2 % F.S) | ±1 .5% F.S (20,30SLM: ±2 % F.S) |
線性 | ±0.5 % F.S (20,30SLM: ±2 % F.S) | ±0.5 % F.S (20,30SLM: ±2 % F.S) | ±0.5 % F.S (20,30SLM: ±2 % F.S) |
重復(fù)精度 | ±0.2 %F.S | ±0.2 %F.S | ±0.2 %F.S |
響應(yīng)時(shí)間 | 電特性: 10 sec | ≤10 sec | 電特性: 10 sec |
大工作壓力 | 10 MPa | - | 1 MPa |
氣壓降 | - | ＜ 0.02 MPa | - |
工作壓差范圍 | ≤10SLM (0.2 ~ 0.8) MPa | - | ≤10SLM (0.1 ~ 0.5) MPa |
耐壓 | 10 MPa | 10 MPa | 3 MPa |
工作環(huán)境溫度 | 5 ℃ ~ 45 ℃ | 5 ℃ ~ 45 ℃ | 5 ℃ ~ 45 ℃ |
輸入輸出信號 | 0 V ~ +5.00 V | 0 V ~ +5.00 V | 0 V ~ +5.00 V |
電源 | +15 V 50 mA | +15 V 50 mA | +15 V 50 mA |
重量 | 1.2kg | 1 kg | 1.2kg |
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