CS330C、D型 MFC是全金屬密封大流量的數字型產品,為氣體質量流量的控制、測量提供了高準確度及高可靠性。該型產品支持提供數字信號,0~5V模擬信號,4~20mA模擬信號,可以使用雙電源(±8~±16VDC)或單電源(+14~+28 VDC)。
CS312 質量流量控制器采用新型低零漂傳感器和溫度補償技術,產品精度可達到設定值1%以內,低溫度系數可保證產品適應不同的環境溫度,可廣泛應用于半導體、光伏、平板顯示等行業的工藝設備中,精確控制工藝氣體流量,具有低零漂、高精度、快響應、耐腐蝕等特點。
DS312 是一款控制精度高、相應速度快的質量流量控制器(MFC),主要用于刻蝕機等對機器性能要求高的半導體機臺。