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PT100 壓力變送器利用壓阻式壓力傳感器，來檢測介質的壓力變化，并將壓力轉換為電信號輸出；可測量氣路盤、工藝腔和傳輸腔等位置的壓力變化；廣泛應用于集成電路、封裝、半導體照明、功率半導體、化合物半導體等領域。

反應腔室壓力控制器(Exhaust Pressure Controller，簡稱 EPC)用于對氣體的壓力進行精密控制和測量。它們在半導體集成電路工藝、特種材料、化學工業、石油工業、醫藥、環保和真空等多種領域的科研和生產中有著重要的應用。

LPT100 液體壓力傳感器是一款為半導體技術發展需求而研制的高精度耐腐蝕的產品，主要應用于集成電路濕法制程中的CMP、清洗等設備上。