PC200 壓力控制器用于對氣體的壓力進行精密控制和測量。主要應用于與半導體集成電路工藝、特種材料、化學工業、石油工業、醫藥、環保和真空等領域。
PC100 壓力控制器是數字型壓力控制產品,為氣體壓力的控制、測量提供了高準確度及高可靠性。可同時支持數字信號和0~5V模擬信號,使用單電源供電。另外,標準開放的通訊協議可為客戶自行開發控制、采集軟件提供便利。
PC300 壓力控制器是帶有完整流量計功能的壓力控制器,主要應用于半導體領域,例如在晶圓背面冷卻系統中,用來控制硅片背面的冷卻氣體的壓力,如氦氣、氮氣、氬氣等特殊氣體。
VS100 真空壓力開關利用壓阻式壓力傳感器,來檢測介質的壓力變化,與預設的壓力動作點進行比較,將壓力轉換為開關量信號。應用于集成電路、封裝、半導體照明、功率半導體、化合物半導體領域。
VG200 電容薄膜真空規具有測量精度高、重復性好等優點。被廣泛應用在半導體、光伏、真空、航空航天等裝備制造領域,本產品以超薄膜片為感壓元件,可精確測量工藝腔室或其它真空環境下的氣體壓力。
PS100 電容薄膜真空規具有測量精度高、重復性好等優點,被廣泛應用在半導體、光伏、真空、航空航天等裝備制造領域,本產品以超薄膜片為感壓元件,可精確測量工藝腔室或其它真空環境下的氣體壓力。